
晶圆凸点工艺在晶圆表面制备微焊凸点,作为芯片后续互连的导电通道,凸点尺寸微小、阵列密度极高,对焊材的均匀性、洁净度与轮廓一致性要求严苛。 它是 Flip-Chip 倒装芯片互连的前置核心工序,凸点品质直接影响后续键合良率、电学连通性与器件长期可靠性。
行业挑战和解决方案
晶圆凸点制程易出现凸点高度不均、润湿不良、氧化、桥连、空洞以及表面残留污染,微小缺陷会在后续倒装键合中被放大,造成批量失效。
华庆提供高纯锡膏、低残留专用助焊剂,适配晶圆植球与凸点回流工艺,稳定控制凸点成型形貌,抑制氧化与桥连,助力实现均匀一致的晶圆微凸点阵列。